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Keywords FPD plantarray processDMSOenvironment sampling _ bgN 鹼1u N T剉u錧z侤b膥b Mb g蔔錯b霳@b翂剉s^g5u茐0s^g梴:g0zf齹媁Kb:gI{艌n剉鶴皊0鍌1\錧z6R z@bO(uSf[罷 簨 R錘5R係儚:N YBg Y7h0 DMSO/f5R係eR粂6R z8^(u剉N蛓Sf[罷0僛蟸8^孴MEANv^O(u0 DMSOck/fb霳骮亯薔蛜剉;N覊0 (W菑籗嶯-N齎'YF柺S餝~n$N0W N Tbg係剉痵僗纇Km蟸寶虘 b霳 N鰁裇皊N*NNDMSO^8^鴙螾剉Sf[ir 1u嶯 N/fUSN剉bg係剉*NHh /f ww峞g 闟亯/f購*Nbg係袕lYEN 1\螾/fN蛓臺6q剉歔媉N7h 郪dk _裇b霳剉}YGY v^蹚NekU\_N*Nu痵僗Y剉瀃寶 (u錘nxb霳鵞vQu剉╟KmN骮誰0 KN@b錘O魦/f6R zO(uSf[罷oRir Neg/f僛瀃(WNDMSO*Y螾 孨eg/fN,倓v5R係eR粂6R z NOO(u僛 郪dk ╟Km:NoRir0 髞嶯僛鵞罷 g鄀qS砙 }6qb霳O(uN*N髞蔔蚇6q琡 *g砆剉Hh婳ZP:N Neg剉_:W FOb霳蚇6q軴c_>e剉藌:W _N ^g^'Y剉麐 賬圢轛蚑NcYe 顣槝 術剠渷5uvfSO(TFT)bg係(W係5R6R z虘鶴皊俌 1剉顣槝0 購顣槝 颯錘饄KN:NITO Peeling0(W孾bITO@暅T 秗礠/fo倉Y剉 FO(WITO AnnealT 購蛓珗饄KN:Nzzm剉臽礠1\鶴皊哊0 蜰EDX剉1宔g w 詋儚yr+RKNY 擽鍕1\/f硏0'l蔛kx購 N*NCQ }0 e(WStocker1\ g婲 N/f>e梍aEN 臽礠af>f0 DMSO1\/f購*NHh婳O(u剉eR粂瞞0 趮瀃 購騗/f2009t^裇u剉婲哊 vQ瀃 S_鰁 g'Y禰龕 T剉T{Hh0闟鍂S Yt筫_1\/f=\颯齹 N籗(uStocker0  1 ITO Peeling剉臽b_ 皊(W gT{HhT 貜/f N齹魦 g FO蟸菑購汵t^eg tS_N g汵裇皊 PT(W TN*N膥媿縍匭0 係:SBR&T >f6qDMSO2N術汵Y(W郪 } gsQ0 vQ擭 N T係:SDMSO2剉鶴皊NDMSO剉4NLuSm N T >f6qDMSO2N術汵Y(W郪 } gsQ0 DMSO2ub╟Km魦f 耂 2N 3剉Sf[觺刧 颯錘裇皊 DMSONDMSO2$N闟頬N*N'l烻P[0 遊bg係5R6R zO(uSf[罷b錧z偩Y(;N亯/fUVop) 韥'l/fb霳`憉剉蚐擽耂N0_N1\/f 韥'l衏汷DMSO@b梽v'l烻P[(韥'l陙馷,g珟_NY鶴N*N'l烻P[) 蹚 b_bDMSO20 HN DMSO2(W闠?Qb_b N轛0RDMSO2剉竘筽遊0DMSO2剉竘筽貧緩238! 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I. Yang, W. T. Chiang and C. Y. Yang, Assessment of Manufacturing Environment for Stripper Leakage Event[J] IDMC2011, PS-68 (2011). * hg?e 7u 1968t^ 1gu Ux隭 215126 蟼轢錧N鞻:S筫緩W33鱏 (512) 67027000 e-mailcy_yang@lkeng.com.cn     b b"b$b&b(b*b2b4b6bBbFbLbNb`bhb~b哹坆恇抌攂疋什什榽p`Q`H`Q`Q`Q8`h h*CJH*PJnHtHh h媨CJh h*CJPJnHtHh h*CJPJnHo(tHh<h<CJOJQJo(2h<h<5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH2h<h*5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH/h|-h*5丆JOJPJQJ^JaJnHtH/hs5h*5丆JOJPJQJ^JaJnHtHh硓zCJOJQJnHo(tHh9h)CJPJnHtH6bNb朾刢鈉tdxd宒巇恉猟琩Ne鈋 f済劒d1$WD`劒gd烮$d1$a$gd烮 d1$G$gd$d1$G$a$gd d1$G$WD`gd鏯劒d1$G$WD`劒gd鏯劒d1$G$WD`劒gds5攂朾禸篵耣鋌靊 cc"c*c,cbcjclctcvc俢刢碿竎腸萩謈赾郼鈉騝鷆點ddd d"d*d,d2d`dhdrdtdvdxd麋冂冂冂冂厝缲缲如荤冂冂冂荤冂厝缲缲如┴巰h鏯h鏯CJnHo(tHjh鏯UmHnHuhs5CJQJnHo(tH#h h*CJPJQJnHo(tHh h CJnHtHh h*CJH*PJnHtHh h*CJPJnHtHh h*CJPJnHo(tHh hs5CJ,xdzd|d~d哾奷宒巇恉杁瀌╠猟胴诺氘卥Q72h|-h`5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH2h|-h*5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH2h鏯h*5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH/h|-h*5丆JOJPJQJ^JaJnHtHh<h鏯CJo( h<CJo( hs5CJo(h h*CJPJnHo(tH$h痟h*CJOJPJQJnHtH$h*h*CJOJPJQJnHtH'h痟h*CJOJPJQJnHo(tH 猟琩甦磀禿篸綿膁蝑謉豥郿鈊阣餯黡e e e.e0e>eLeNenepere唀渆篹耬膃衑鄀鈋樽堑堑椎η登底郸柕偟莡堑堑堑堑d hA-PhA-PCJPJQJnHtHhA-PhM<CJnHtH'h*h*CJOJPJQJnHo(tHhA-Ph*CJH*PJnHtHhA-Ph*CJPJnHtH#hA-Ph*CJPJQJnHo(tHhA-Ph*CJPJnHo(tH#hA-Ph*CJPJQJnHo(tH,hhCJOJPJQJ^JaJnHtH#鈋鬳黣ff f fff f.f4f>fFfHfPfRfffhf磃篺膄蘤蝔謋豧黤 g gggg$g,g.g0g4g胭寿帘睈睈⒈恘惐悽雹恄惐惐惐惐ha}Sh`CJPJnHtH#ha}Sh*CJPJQJnHo(tHha}Sh*CJH*PJnHtH#ha}Sh*CJPJQJnHo(tHha}Sh*CJPJnHtHha}Sh*CJPJnHo(tHhA-PhA-PCJhA-Ph*CJPJnHtH#hA-Ph*CJPJQJnHo(tH'hA-Ph*CJOJPJQJnHo(tH%4g:gBgDgJgngvg~gg歡済纆靏頶鬵黦hhhh,h.h0h2h磔磔磔尉淼蓓瑴峿k峩渒bSHh ~ohCJPJjhb[ha}SCJPJUhHn琻:pp劒d1$WD`劒gd:s劒d1$WD`劒gd d1$gd硓z$d1$a$gd硓z$1$G$XD2a$gd硓z劒d1$WD`劒gd烮2h4h6h8hJhLhNhTh\h^hdhfhhhphxhzh|hh俬坔胴懦噚h嘨K噚h;噚h*h*CJPJnHo(tHh*h:&CJPJ#h*h*CJPJQJnHo(tHh*h*CJH*PJnHtHh*h*CJPJnHtH#h*h*CJPJQJnHo(tHh ~ohyICJPJhh@BCJOJPJQJ#ha}Sh*CJPJQJnHo(tH$h痟h*CJOJPJQJnHtH$h*h*CJOJPJQJnHtH'h痟h*CJOJPJQJnHo(tH坔奾宧攈猦琱竓篽鎕鑘ii i"i(i:iBiDiJiPilitivi奿恑甶秈竔緄纈萯蝘鄆鑙阨餴鰅jj j4j:jTj\j^j詊趈镞瓦峦巴盀蛷蛷蛷蛷蛷蛷蛌蛷蛷蛷蛷蛷蛷蛷h*h:sCJh*h*CJH*PJnHtHh*h*CJPJnHtHh*hHkJkLklknk坘宬攌杒瀔甼瞜衚襨趉躪鋕$l磙磙雾揄揄揄揄喉喉雹挗仮挗仮伜亁iX h*h*CJPJQJnHtHh*h*CJPJnHtHhNGh*CJ hNGhNGCJPJQJnHtHhNGhNGCJH*PJnHtHhNGhNGCJPJnHtHh*hHnJnXn唍妌猲琻襦兹溉垬ne榥榥榐 h CJo(hNGh CJ hNGhNGCJPJQJnHtHhNGh*CJhNGhNGCJH*PJnHtHhNGhNGCJPJnHtH h h CJPJQJnHtHh h CJH*PJnHtHh h CJPJnHtHh*h*CJ h*h*CJPJQJnHtHh*h*CJPJnHtH!琻餹黱2o:o坥皁鄌鈕8p:ppDpHpJpLpTpfphp襦襦襦襦襦资激妏XG6G h詊Yh詊YCJPJQJnHtH h詊Yh詊YCJPJQJnHtH/h5rth5rt5丆JOJPJQJ^JaJnHtH2h甤Uh`5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH2h甤Uh*5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tH/h甤Uh*5丆JOJPJQJ^JaJnHtHh嘕h嘕CJnHo(tHhMJhS?CJnHtHhMJhMJCJ hMJhMJCJPJQJnHtHhMJhMJCJPJnHtH>pJpLpq琿畄皅瞦紂Vrlsnspsrs爏萻鎠tdH$WD`gd隬J匌dH$VDWDq^匌`d隬J dH$gdj劒dH$WD`劒gd镻劒d1$WD`劒gd镻 d1$gd:shpqqq╭猶琿畄瞦簈紂膓詑謖趒躴阸rr6r>r@rTrVr镤语邮汲檨rbrbrbRbCrbC< h罷9aJo(hjh*PJaJnHtHhjh*PJaJnHo(tHh縲h*PJaJnHo(tHh縲h*PJaJnHtH/hlhj5丆JOJPJQJ^JaJnHtH2hlh*5丆JOJPJQJ^JaJnHo(tHh罷9CJQJo(h詊Yh詊YCJOJQJo(h詊Yh╭CJ h詊Yh詊YCJPJQJnHtHh詊Yh镻CJPJ h詊Yh詊YCJPJQJnHtHVr^r竢4s:s底歬Z迪瀞5W9宏M牽靠詛仦灋鮒]鴂腄D@D@D@D@D@D@D(珡" " " " " " "p嶾" " " " " " "P r詁樥I @s@D@D@D@D@D@D@jA@.Z :)" " " " " " rh垁垁垁垁垁垁園-P媋V'E@D@D@D@D@D@D@.j1剃垁垁垁垁垁垁9 " " " " " "  @-哬4D@D@D@D@D@D@Dㄅ0珦" " " " " " " 鎬垁垁垁垁垁垁詡\fuRD@D@D@D@D@D@乑 矛N妧垁垁垁垁垁垁\" " " " " " "P r詁樥I @s@D@D@D@D@D@D@jA@.Z :)" " " " " " =BPsD帏胥煄硌3W舡={<筇33f谈q鉌費@栝 X♂鹩.s,\竝碲当兒m鄱i应:x疣%K秐脊n莺y箧諁Z" " " " ]J@..卮輶 -﹏-譭.鲏秡蹶鑨]w輚,螓 虧;笙?w;t雱W緿@D@D@D犳▂正nr9rd渊Q宨歂璝硢/鲇繩8|v栝>rt邩f陸f楼聲&痱/l@H飺'Obss螠9练0鸧鮙籿U韩RND@D@D@D@D@ ;3炸*丆Y龤*~,X癭匕a÷W_}5wv钴賂 垁垁垁垁垁垁-r/i汥喙鐬鉳繭H炕b+简+=zt糨#Fp砆NA 垁垁垁垁垁% 荼撴a玍+3g$)回齑y箧PQ郚l祭燗僜酕qt"褋+L4欝 k琇Ad>|竗a茖SI輟谣KW甛檑wG.EJ!W琗Qf%[D@D@D@D爇 赧鰱7,儶!檙琑T谰}a縸橛应M砯蛂坻H鴦]緗y)#*" " " " 軧 /\2;r鯟.溹害Z赘H熵弊^{m饽墶補#漓俪箉饽壛焚┻踸摗 硈缈N欜~ R振触-m叿靏种|哎賙幁痍昧07{W瑇邋({譖緍詐谢乘伥祉徻魐诖i撼箨垁垁垁垁垁 @ H*b渶?^ v咊褳,>/狇辡V逬3お[ 垡6驞飔sxm)lK[s潂z2穙h>R! y柅d! @Z*k溊小C]&L樌G峷梏橛瞀w锎伔 牘%.\{輘Gr]x釁钆_ 睃干 ]楼b8y騙+*8~*%滵@D@D@ 俐g窼7n灞s鏝n.X袄/鞊5股9◎?0wn捡期r%YN罹骇麚'O3[穘%癢{鲮?>w-Z?o<~]秎Y0#u桩]媤 6璥骼*'c茖hd篳蝝蔸蝇V錻`祉埙v4Gi闧孍7s姊箂W5Rf樀C哃ヤ櫑抺釘籪锨 0J$3g~c熵螼熅皯厪鼦_~e碲均鎇讯惷[K桙UJ阒蒓~[V玍}?._##x_!b覢iQ!絨洅}%5-" " " 9鑀泻狫 权`鞳4,p 糮I摓6m5kVh浒W璟吜笸7 p遾鞴蚂 L爯afoB腷gs蹶[/C,L'v 滪蠥LS旆}h葤%s|酽趑| <氀b頝毸 Oú`羚渖鉤|颀 箞0塹懱榪蜄-適4漁輚9#脾'F筲小椣;飣窥寨/紧狻C_p六瓳鑲鏲=醥^t褔Q稆;院C唡鄔v誙p鐓^?/7ma>攕梿铕.椆1仑骁踝O晋闕刞%bf37?<裕黎 zOT巏h箧G鬀呶涽'.嘌赖q嗬q<箇撶n 尸\剐婤/笁署蚜Y钞黠2搟{糠b艧7噎%h-酿,]>駨N涼顬沪OA偠 敞懧}轠溆b酽-/己! ╆嚿愇員蘼?u(` 壮 9铒龊沑魥m愤~怀漭;F&=塔砱螻Y8荺辫妊蚉,+揪o嗩c*8駴 柕-$?鬈/覭▓ 纖s鄱>尯豝c搹硔k镛嶃%9E龇锕マ>宔嬔麉/Lo$ S陿圤?} 羷崗L 往&py郪p9O/b蓅鑿飢鏺>#蘼T;岖3}d瓬浢躸輚W9r灬芃47钸恂痫猸坲@d澓樗阃玲r熵彙韻毴`!髰7N鉰Y奉[8T窲f%`袴挖G亰 "複jh#@鲘i瓄劑咦譿饽壝g甤菐駅聮>8AR5,蘥7库j皵赉媳痭捡!I)7椿Z,也寽2X=嬍馿Y8m[灷J(^殔w 顄 摞`玄w%儐RH`鶻 沷~wy)X,m,s ? 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